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&苍产蝉辫;　　随着质谱技术的高速发展，作为一种分压力测量仪器的四极质谱仪被用检测物质含量和鉴定物质类别。它采用的是两级抽气结构，前级为机械泵，后级为分子涡轮泵。工作时，先由前级泵，将真空腔内的压强降低几个数量级，再由后级泵降至工作所需压强。具有体积小、质量轻、可选示漏气体广等诸多优点，可以在真空泄漏检测领域中发挥更大的作用。