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　　飞行时间二次离子质谱仪是一种既能测试有机物，又能测试无机物的一种检测仪器，使用一次的离子源(Ga,Cs, O2, etc)轰击样品，产生二次离子，激发的二次离子被引入一个无场区(drift tube),自由飞行，飞行时间的长短，与离子的mass-to-charge ratio的二分之一此方成正比；也就是说，质量数越小的离子飞得越快，到达检测器的时间越短，反之，质量数越大的离子飞得越慢，到达检测器的时间越长，这样就可以实现质谱的分离。
 

　　飞行时间二次离子质谱仪的技术优势：
 

　　1. 优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度。可以检测到ppm或更低的浓度
 

　　2. 深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率
 

　　3. 小面积分析(10 µm 或更大)
 

　　4. 检测包含H在内的元素及同位素
 

　　5. 优良的动态范围(6 orders of magnitude)
 

　　6. 在某些应用中可能用来做化学计量/组成成份
 

　　飞行时间二次离子质谱仪的主要用途：
 

　　1. 掺杂剂与杂质的深度剖析
 

　　2. 薄膜的成份及杂质测定 (金属、电介质、锗化硅 、III-V族、II-V族)
 

　　3. 超薄薄膜、浅植入的较高深度辨析率剖析
 

　　4. 硅材料整体分析，包含B, C, O,以及N
 

　　5. 工艺工具(离子植入)的高精度分析